Решения GARLOCK в полупроводниковой промышленности

В соответствии с требованиями, существующими в полупроводниковой промышленности, компания Garlock разработала ряд изделий, в которых учтены специфические требования этой отрасли, расширяющих диапазон возможностей для проектирующих оборудование инженеров.

Семейство металлических уплотнений Helicoflex ® компании Garlock расширяет границы возможного для инженеров-проектировщиков. Входящие в семейство Helico - Flex подпружиненные уплотнения Delta , а также кольца C -образного и O -образного поперечного сечения предназначены для работы при высоких температурах, одновременно обеспечивая отличное сохранение вакуума.

Разработанная совместно с CEA (Комиссия по атомной энергии Франции), конструкция уплотнения Ultra - Flex ® обеспечивает высокую герметичность, которой соответствует утечка, равная 1 x 10-9 куб. см/с по гелию, при давлениях обжатия, равных используемым для эластомерных уплотнений.

Уплотнение Ultra - Flex ® имеет С-образное поперечное сечение, образованное наружным уплотняющим материалом - золотом, алюминием, серебром или медью, выбор которого зависит от области применения, - охватывающим внутренний металлический сердечник из инконеля. Когда при сборке на уплотнение начинает действовать нагрузка, то по мере деформации С-образного сечения происходит перемещение противолежащих краев оболочки уплотнения в оптимальное положение.

Металлы, используемые для уплотнений Ultra - Flex ® , обеспечивают, по сравнению с эластомерными уплотнениями, преимущества в отношении стойкости при действии высоких и низких температур, нулевого газовыделения, уменьшения загрязнения и химической стойкости в более широком диапазоне.

Уплотнения Ultra - Flex ® производятся в широкой номенклатуре размеров и материалов и могут быть как получены со склада, так и изготовлены под заказ.

Уплотнения Helicoflex ® MSM , созданные с целью превзойти требования, имеющиеся в стандарте SEMI PR 3.1, предназначены для модульных элементов, монтируемых на поверхности систем транспорта газа. Эти уплотнения можно приобретать как отдельно, так и вместе с держателями, облегчающими работу с ними и обеспечивающими правильную установку. Имеются держатели различных конфигураций, а также имеется возможность их проектирования в соответствии с требованиями заказчика.

Уплотнения Stress Saver ® требуют низкого момента затяжки и предназначены для применения в тех случаях, когда необходимо использовать особо чистые, не загрязняющие рабочую среду материалы. Уплотнение состоит из мягкого сердечника ( EPDM ) покрытого снаружи слоен ПТФЭ и обеспечивает высокоэффективное уплотнение неметаллических фланцев. Для областей применения, требующих обеспечения особой чистоты, предусмотрена не содержащая загрязнений упаковка.

Технические данные

Эти информационные материалы предоставляются в формате Adobe Acrobat PDF. Для их просмотра вам потребуется программа Adobe Reader, последнюю версию которой щелкнув здесь.